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高温全息光栅的制作工艺研究
引用本文:谢惠民,袁杰,戴福隆.高温全息光栅的制作工艺研究[J].光学技术,1993(3).
作者姓名:谢惠民  袁杰  戴福隆
作者单位:清华大学工程力学系 100084 (谢惠民,袁杰),清华大学工程力学系 100084(戴福隆)
摘    要:本文提出了应用双镀层光刻法制作高温全息光栅的新工艺。此工艺范围广,制栅对象可选择陶瓷、石英等耐高温的非金属材料,也可选择耐高温合金等金属材料。高温实验结果表明.双镀层高温全息光栅具有较好的抗氧化能力,可作为高温变形测量的基本元件使用。

关 键 词:高温全息光栅  云纹干涉法  网格法

Production of holographic gratings for high temperature
Xie Huimin Yuan Jie Dai Fulong.Production of holographic gratings for high temperature[J].Optical Technique,1993(3).
Authors:Xie Huimin Yuan Jie Dai Fulong
Institution:Xie Huimin Yuan Jie Dai Fulong
Abstract:A new method fir producing holographic gratings for high temperature is developed in this paper. Either metal or non-metal can be selected as the object of producing grating. The good experimental results prove that the holographic gratings made with two-deposited film method can provide high contrast and good diffraction effect during the high temperature test.
Keywords:holographic grating for high temperature  moire interferometry  grid method  
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