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| 脉冲激光加热薄膜微尺度热传递研究进展 | |
| 引用本文： | 徐红玉,张元冲,宋亚勤,卢秉恒,陈殿云.脉冲激光加热薄膜微尺度热传递研究进展[J].物理学进展,2004,24(2):152-162. |
| 作者姓名： | 徐红玉 张元冲 宋亚勤 卢秉恒 陈殿云 |
| 作者单位： | 1. 西安交通大学机械结构强度与振动国家重点实验室,西安,710049;河南科技大学建筑工程学院 2. 西安交通大学机械结构强度与振动国家重点实验室,西安,710049 3. 西安交通大学机械工程学院 4. 河南科技大学建筑工程学院 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(50175089和10132010) |
| 摘 要： | 短脉冲激光显微微加工因其具有制作高精度微结构的能力和其在现代微制作技术中的应用,微尺度薄膜热传递的研究受到极大关注,近年来对薄膜结构高频加热的研究迅猛发展。本文对十年来薄膜微尺度热传递的相关研究进展做了简要评述。 |
| 关 键 词： | 短脉冲激光 薄膜热传递 综述 微尺度 研究进展 |
| 文章编号： | 1000-0542(2004)02-0152-11 |
| 修稿时间： | 2003年11月25 |
RESEARCH PROGRESS IN PULSE LASER HEATING THIN FILM MICROSCALE HEAT TRANSFER |
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| XU Hong-yu.RESEARCH PROGRESS IN PULSE LASER HEATING THIN FILM MICROSCALE HEAT TRANSFER[J].Progress In Physics,2004,24(2):152-162. | |
| Authors: | XU Hong-yu |
| Institution: | XU Hong-yu~ |
| Abstract: | In recent years, due to the ability of short-pulse laser micromachining to fabricate microstructures with high precision, the study on high-rate leaser heating thin film has been rapidly developed and the study on microscale heat transfer of thin film has attracted much attention.A brief review to the lately decade studies on microscale heat transfer of thin film is presented in this work. |
| Keywords: | short-pulse laser heat transfer in thin film review microscale research progress |
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