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SrTiO3同质外延过程中的反射高能电子衍射图案分析
引用本文:魏贤华,张鹰,李金隆,邓新武,刘兴钊,蒋树文,朱俊,李言荣.SrTiO3同质外延过程中的反射高能电子衍射图案分析[J].物理学报,2005,54(1).
作者姓名:魏贤华  张鹰  李金隆  邓新武  刘兴钊  蒋树文  朱俊  李言荣
摘    要:在激光分子束外延实验中,用RHEED原位监测了SrTiO3基片初始、退火以及同质外延过程中的表面形态.通过对RHEED图案分析,获取了表面面内的晶格常数振荡与衍射条纹的半高宽振荡现象,前者是由退火重构表面与薄膜之间的界面造成的,后者与二维岛边界的弛豫相关.另外还观察到了等离子体对入射电子束的影响而导致的RHEED强度振荡行为的相位移现象.

关 键 词:反射高能电子衍射  SrTiO3  表面晶格常数及衍射强度振荡

Analysis of reflection high-energy electron diffraction pattern during SrTiO3 homoepitaxy
Abstract:
Keywords:
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