| 氧化处理的蓝宝石基片上沉积的ZnO/MgO多量子阱的结构及光学性质研究 |
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| 引用本文： | 栾田宝,刘明,鲍善永,张庆瑜.氧化处理的蓝宝石基片上沉积的ZnO/MgO多量子阱的结构及光学性质研究[J].物理学报,2010,59(3):2038-2044. |
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| 作者姓名： | 栾田宝 刘明 鲍善永 张庆瑜 |
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| 作者单位： | 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室，大连 116024 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金（批准号：10774018）、国家重点基础研究发展计划（批准号：2007CB616902）资助的课题. |
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| 摘 要： | 采用射频反应磁控溅射的方法，在经过氧化处理的Al2O3（0001）基片上制备了具有良好调制结构的ZnO/MgO多层膜量子阱.利用X射线反射率测量、X射线衍射分析、电子探针显微分析、原子力显微镜、透射光谱以及光致发光光谱等表征技术，研究了ZnO/MgO多量子阱的结构、表面形貌和光致发光等特性.XRD以及扫描的结果表明多层膜样品具有高c轴择优取向并且与蓝宝石基片有良好的外延关系.通过X射线反射率测量的结果得到多量子阱的调制周期，结合电子
关键词：
ZnO/MgO
多量子阱
反应磁控溅射
变温光谱
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| 关 键 词： | ZnO/MgO 多量子阱 反应磁控溅射 变温光谱 |
| 收稿时间： | 6/1/2009 12:00:00 AM |
Structure and optical properties of ZnO/MgO multi-quantum wells deposited on oxidated sapphire substrate |
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| Luan Tian-Bao,Liu Ming,Bao Shan-Yong,Zhang Qing-Yu.Structure and optical properties of ZnO/MgO multi-quantum wells deposited on oxidated sapphire substrate[J].Acta Physica Sinica,2010,59(3):2038-2044. |
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| Authors: | Luan Tian-Bao Liu Ming Bao Shan-Yong Zhang Qing-Yu |
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| Abstract: | ZnO/MgO multi-quantum wells with modulation structure are grown on oxidated Al_2O_3 (0001) substrates using radio-frequency reactive magnetron sputtering method. X-ray reflectivity and X-ray diffraction measurement,electronic probe,atom force microscopy,transmission spectrum and PL spectrum are used to characterize the samples. The XRD scan and phi-scan results show the films are highly (001) textured and have epitaxial relationship with the substrates. The width of quantum well is determined to be between ... |
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| Keywords: | ZnO/MgO multi-quantum wells reactive magnetron sputtering low temperature spectrum |
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