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硅基两维光子晶体的制备和光子带隙特性
引用本文:周梅,陈效双,徐靖,陆卫.硅基两维光子晶体的制备和光子带隙特性[J].物理学报,2004,53(10):3583-3586.
作者姓名:周梅  陈效双  徐靖  陆卫
作者单位:中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海 200083
基金项目:国家重点基础研究发展规划 ( 973 ) (批准号 :2 0 0 1CB610 40 ),中国科学院“百人计划”基金 (批准号 :2 0 0 0 12 ),国家自然科学基金重点项目 (批准号 :10 2 3 40 40 ),上海科学技术委员会重点基金项目 (批准号 :02DJ14 0 66)资助的课题~~
摘    要:利用反应离子束刻蚀设备制备了硅基的两维空气柱光子晶体,并用红外显微镜测试了样品的 反射谱. 理论上用时域有限差分(FDTD)方法计算了样品的光子带隙,从测试结果看光子带隙 和理论计算的光子带隙符合得很好.  关键词: 光子晶体 光子带隙 反射谱 时域有限差方法

关 键 词:光子晶体  光子带隙  反射谱  时域有限差方法
收稿时间:2003-12-27
修稿时间:2/6/2004 12:00:00 AM

Fabrication and photonic band gap property of the two-dimensional square lattice based on silicon
Zhou Mei,Chen Xiao-Shuang,Xu Jing and Lu Wei.Fabrication and photonic band gap property of the two-dimensional square lattice based on silicon[J].Acta Physica Sinica,2004,53(10):3583-3586.
Authors:Zhou Mei  Chen Xiao-Shuang  Xu Jing and Lu Wei
Abstract:Two_dimensional air_cylinder photonic crystals were fabricated based on silicon by using the multiplex inductively coupled plasma system supplied by STS company. Photonic band gap was theoretically calculated by using the finite different time domain (FDTD) method, and the reflection spectrum was measured experimentally using the microscope infrared spectrometer instrument. We find that the reflection measurements are in good agreement with the theoretically expected behaviour.
Keywords:photonic crystal  photonic band gap  reflection spectrum  FDTD
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