| Sb掺杂SrTio3透明导电薄膜的光电子能谱研究 |
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| 引用本文： | 崔大复,王焕华,戴守愚,周岳亮,陈正豪,杨国桢,刘风琴,奎热西,钱海杰.Sb掺杂SrTio3透明导电薄膜的光电子能谱研究[J].物理学报,2002,51(1):187-191. |
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| 作者姓名： | 崔大复 王焕华 戴守愚 周岳亮 陈正豪 杨国桢 刘风琴 奎热西 钱海杰 |
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| 作者单位： | (1)中国科学院高能物理研究所北京同步辐射试验室 ,北京 1 0 0 0 3 9; (2)中国科学院物理研究所与凝聚态物理中心光物理试验室 ,北京 1 0 0 0 80 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重点项目 (批准号 :5 9832 0 5 0 )，国家重点基础研究计划项目资助的课题~~ |
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| 摘 要： | 用X射线光电子能谱和同步辐射光电子能谱研究了Sb掺杂的钙钛矿型氧化物SrTi1-xSbxO3(x=0.05,0.10,0.15,0.20)薄膜的电子结构.薄膜由紫外脉冲激光淀积在SrTiO3(001)单晶衬底上.该薄膜系列在可见光波段透明,透过率均超过90%.其导电性与掺杂浓度有关,当Sb掺杂浓度x=0.05时,薄膜显示金属型导电性.X射线光电子能谱和同步辐射光电子能谱研究结果表明,Sb掺杂在母化合物SrTiO3的禁带内引入了浅杂质能级和深杂质能级.浅杂质能级上的退局域化电子离化到导带中会产生一定的传导电
关键词：
光电子能谱
光学透过率
脉冲激光沉积薄膜
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| 关 键 词： | 光电子能谱 光学透过率 脉冲激光沉积薄膜 |
| 收稿时间： | 2001-05-10 |
| 修稿时间： | 2001年5月10日 |
X-ray photoelectron spectroscopy study of Sb-doped SrTiO3 transparent conducting thin films |
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| Cui Da-Fu,Wang Huan-Hua,Dao Shou-Yu,Zhou Yue-Liang,ＣｈｅｎＺｈｅｎｇ Ｈａｏ,Yang Guo-Zheng,Liu Feng-Qin,Ｋ .Ｉｂｒａｈｉｍ,Qian Hai-Jie.X-ray photoelectron spectroscopy study of Sb-doped SrTiO3 transparent conducting thin films[J].Acta Physica Sinica,2002,51(1):187-191. |
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| Authors: | Cui Da-Fu Wang Huan-Hua Dao Shou-Yu Zhou Yue-Liang ＣｈｅｎＺｈｅｎｇ Ｈａｏ Yang Guo-Zheng Liu Feng-Qin Ｋ Ｉｂｒａｈｉｍ Qian Hai-Jie |
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| Abstract: | ＯｐｔｉｃａｌｌｙｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔＳｂ ｄｏｐｅｄＳｒＴｉＯ3 (SrTi1-xSbxO3 )ｔｈｉｎｆｉｌｍｓｗｉｔｈａｔｒａｎｓｍｉｔｔａｎｃｅｈｉｇｈｅｒｔｈａｎ 90 %ｉｎｖｉｓｉｂｌｅｒｅｇｉｏｎ
ｈａｖｅｂｅｅｎｇｒｏｗｎｏｎＳｒＴｉＯ3 (0 0 1 )ｓｕｂｓｔｒａｔｅｓｂｙｐｕｌｓｅｄｌａｓｅｒｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄｕｓｉｎｇａｎＸｅＣｌｌａｓｅｒｕｎｄｅｒｏｘｙｇｅｎｐａｒｔｉａｌｐｒｅｓｓｕｒｅｏｆ2 0Ｐａ.ＴｈｅｔｈｉｎｆｉｌｍｗｉｔｈＳｂｄｏｐｉｎｇｃｏｎｃｅｎｔｒａｔｉｏｎｏｆｘ=0 .0 5ｓｈｏｗｓｍｅｔａｌｌｉｃ ｌｉｋｅｃｏｎｄｕｃｔｉｖｉｔｙｗｉｔｈａｒｅｓｉｓｔｉｖｉｔｙρ～ 6.99×1 0 -3 Ω·ｃｍａｔｒｏｏｍｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ.ＸＰＳａｎｄｓｙｎｃｈｒｏｔｒｏｎｒａｄｉａｔｉｏｎｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ (ＳＲ ＰＥＳ)ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｆｒｏｍｔｈｅＳｒＴｉ0 . 95Ｓｂ0 .0 5Ｏ3 ｔｈｉｎｆｉｌｍｒｅｖｅａｌｓｔｈａｔｔｈｅｓｈａｌｌｏｗａｎｄｄｅｅｐｉｍｐｕｒｉｔｙｄｏｎｏｒｌｅｖｅｌｓｗｉｔｈｉｎｔｈｅｂａｎｄｇａｐｏｆｔｈｅｐａｒｅｎｔｃｏｍｐｏｕｎｄＳｒＴｉＯ3 ａｒｅｉｎｄｕｃｅｄｂｙｔｈｅＳｂｄｏｐｉｎｇ.ＴｈｅｄｅｌｏｃａｌｉｚｅｄｅｌｅｃｔｒｏｎｓｗｉｔｈｉｎｔｈｅｓｈａｌｌｏｗｌｅｖｅｌｓｎｅａｒｔｈｅＦｅｒｍｉｌｅｖｅｌｃａｎｂｅｅｘｃｉｔｅｄｔｏｔｈｅｃｏｎｄｕｃｔｉｏｎｂａｎｄａｓｆｒｅｅｃａｒｒｉｅｒｓｆｏｒｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｃｏｎｄｕｃｔｉｏｎｂｙｔｈｅｒｍａｌｉｏｎｉｚａｔｉｏｎ.Ｔｈｅｗｉｄｅｂａｎｄｇａｐ ,ｓｍａｌｌｔｒａｎｓｉｔｉｏｎｐｒｏｂａｂｉｌｉｔｙａｎｄｗｅａｋａｂｓｏｒｐｔｉｏｎｄｕｅｔｏｔｈｅｌｏｗｄｅｎｓｉｔｙｏｆｓｔａｔｅｓｉｎｔｈｅｉｍｐｕｒｉｔｙｌｅｖｅｌｓｒｅｓｕｌｔｉｎｔｈｅｏｐｔｉｃａｌｔｒａｎｓｐａｒｅｎｃｙｏｆｔｈｅｆｉｌｍ . |
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| Keywords: | photoelectron spectroscopy transmittance pulsed laser deposition |
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