| 用微波ECR等离子体溅射法在蓝宝石(0112)晶面上生长ZnO薄膜的研究 |
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| 引用本文： | 汪建华,袁润章,邬钦崇,任兆杏.用微波ECR等离子体溅射法在蓝宝石(0112)晶面上生长ZnO薄膜的研究[J].物理学报,1999,48(5):955-960. |
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| 作者姓名： | 汪建华 袁润章 邬钦崇 任兆杏 |
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| 作者单位： | 武汉工业大学材料复合新技术国家重点实验室, 武汉 430070;武汉工业大学材料复合新技术国家重点实验室, 武汉 430070;中国科学院等离子体物理研究所, 合肥 230031;中国科学院等离子体物理研究所, 合肥 230031 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号：19175046）资助的课题. |
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| 摘 要： | 蓝宝石上外延生长ZnO薄膜在表面波和声光器件中有重要的应用．用微波电子回旋共振(ECR)等离子体溅射法在蓝宝石(0112)晶面上外延生长了ZnO薄膜，膜无色透明，并且表面光滑，基片温度为380℃，为探索沉积工艺参数对薄膜结构的影响，用XRD对不同基片温度和沉积速率生长的ZnO薄膜进行了研究．
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THE STUDY OF EPITAXIAL GROWTH ZnO THIN FILM ON A (0112) SAPPHIRE SUBSTRATE USING ECR PLASMA SPUTTERING METHOD |
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| WANG JIAN-HUZ,YUAN RUN-ZHANG,WU QIN-CHONG and REN ZHAO-XING.THE STUDY OF EPITAXIAL GROWTH ZnO THIN FILM ON A (0112) SAPPHIRE SUBSTRATE USING ECR PLASMA SPUTTERING METHOD[J].Acta Physica Sinica,1999,48(5):955-960. |
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| Authors: | WANG JIAN-HUZ YUAN RUN-ZHANG WU QIN-CHONG and REN ZHAO-XING |
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