| 金属薄膜电迁移1/f噪声与1/f2噪声统一模型 |
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| 引用本文： | 杜磊,庄奕琪,薛丽君.金属薄膜电迁移1/f噪声与1/f2噪声统一模型[J].物理学报,2002,51(12):2836-2841. |
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| 作者姓名： | 杜磊 庄奕琪 薛丽君 |
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| 作者单位： | 西安电子科技大学,西安710071 |
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| 摘 要： | 应用晶粒边界自由体积的概念建立了能够统一描述金属薄膜1f噪声与1f2噪声的模型.该模型表明,结构完整的多晶金属薄膜产生的电噪声为1f噪声,当金属薄膜受到电迁移损伤而形成空洞时就会引入1f2噪声的成分.在电迁移应力实验中,观察到金属薄膜1fγ噪声在空洞成核前γ约为10,一旦发生空洞成核,即突增至16以上,这一规律与本模型的预测相符合
关键词：
金属薄膜
1fγ噪声
电迁移
自由体积
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| 关 键 词： | 金属薄膜 1fγ噪声 电迁移 自由体积 |
| 文章编号： | 1000-3290/2002/51(12)2836-06 |
| 修稿时间： | 2002年2月20日 |
A unified model for 1/f noise and 1/f2 noise due to electromigration in metal film |
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| Du Lei,Zhuang Yi-Qi and Xue Li-Jun.A unified model for 1/f noise and 1/f2 noise due to electromigration in metal film[J].Acta Physica Sinica,2002,51(12):2836-2841. |
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| Authors: | Du Lei Zhuang Yi-Qi and Xue Li-Jun |
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| Abstract: | Ｂａｓｅｄｏｎｔｈｅｃｏｎｃｅｐｔｏｆｆｒｅｅｖｏｌｕｍｅｉｎｇｒａｉｎｂｏｕｎｄａｒｙ ,ａｕｎｉｆｉｅｄｍｏｄｅｌｆｏｒ1 ｆｎｏｉｓｅａｎｄ 1 ｆ2 ｎｏｉｓｅｉｎｍｅｔａｌｆｉｌｍｉｓｐｒｏ
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