| 溶胶凝胶旋转涂敷技术制备ZnO∶In薄膜的结构特性 |
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| 引用本文： | 兰伟,刘雪芹,黄春明,唐国梅,杨扬,王印月.溶胶凝胶旋转涂敷技术制备ZnO∶In薄膜的结构特性[J].物理学报,2006(2). |
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| 作者姓名： | 兰伟 刘雪芹 黄春明 唐国梅 杨扬 王印月 |
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| 作者单位： | 兰州大学物理系 兰州730000(兰伟，刘雪芹，黄春明，杨扬，王印月)，西北民族大学计算机科学与信息工程学院 兰州730030(唐国梅) |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号:50272027)资助的课题.~~ |
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| 摘 要： | 采用溶胶凝胶法,结合旋转涂敷技术在石英衬底上制备了210—240nm厚度的ZnO∶In薄膜.使用掠角入射X射线衍射(GI_XRD)、常规X射线衍射、傅里叶变换红外光谱、原子力显微镜、光致发光谱以及不同入射角GI_XRD谱(α=1,2,3和5°)等手段,对不同掺杂浓度的ZnO∶In薄膜进行了结构分析.发现ZnO∶In薄膜内部是由大尺寸(002)晶向的无应力ZnO晶粒堆积而成,而薄膜表面主要是小尺寸的(002)和(103)晶粒,并且适量的In掺杂能有效改善ZnO薄膜内部的晶体结构特性.
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| 关 键 词： | ZnO∶In薄膜 晶体结构 掠角入射X射线衍射 溶胶凝胶法 |
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