| 中心波长为28.5nm多层膜镜反射率测量 |
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| 引用本文： | 黄文忠,李英骏,谷渝秋,张杰,尤永禄,淳于书泰,何颍玲,雷安乐,陈正林,马月英,金春水.中心波长为28.5nm多层膜镜反射率测量[J].物理学报,2003,52(4):809-812. |
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| 作者姓名： | 黄文忠 李英骏 谷渝秋 张杰 尤永禄 淳于书泰 何颍玲 雷安乐 陈正林 马月英 金春水 |
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| 作者单位： | (1)中国工程物理研究院激光聚变研究中心，绵阳 621900; (2)中国工程物理研究院激光聚变研究中心，绵阳 621900;中国科学院物理研究所，北京 100080; (3)中国科学院长春光学精密机械和物理研究所，长春 130022; (4)中国科学院物理研究所，北京 100080; (5)中国科学院物理研究所，北京 100080;中国矿业大学物理系(北京校区)，北京 100083 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号:19974074和6018007)、国家高技术研究发展计划资助的课题. |
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| 摘 要： | 在“星光-Ⅱ”装置上以类Ne铬x射线激光作为标定源，以平场光栅谱仪为分光元件进行了285nm的Mo/Si多层膜反射镜效率测量.介绍了实验方法，给出了实验结果，本次研制的两块多层膜镜反射率分别为31%和9.6%.
关键词：
x射线多层膜反射镜
反射率测量
x射线激光
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| 关 键 词： | x射线多层膜反射镜 反射率测量 x射线激光 |
| 文章编号： | 1000-3290(2003)04-0809-04 |
| 收稿时间： | 2001-12-18 |
| 修稿时间： | 2001年12月18 |
The reflectivity measurement of the 28.5nm multilayer mirror |
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| Huang Wen Zhong,Li Yin Jun,Gu Yu Qiu,Zhang Jie,You Yong Lu,CunYu Shutai,He Ying Ling,Lei An Le,Chen Cheng Lin,Ma Yue Yin,Jin Chun Sui.The reflectivity measurement of the 28.5nm multilayer mirror[J].Acta Physica Sinica,2003,52(4):809-812. |
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| Authors: | Huang Wen Zhong Li Yin Jun Gu Yu Qiu Zhang Jie You Yong Lu CunYu Shutai He Ying Ling Lei An Le Chen Cheng Lin Ma Yue Yin Jin Chun Sui |
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| Institution: | Huang Wen Zhong 1) Li Yin Jun 2)3) Gu Yu Qiu 1) Zhang Jie 2) You Yong Lu 1) CunYu Shutai 1) He Ying Ling 1) Lei An Le 1) Chen Cheng Lin 1)2) Ma Yue Yin 4) Jin Chun Sui 4) 1) |
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| Abstract: | The reflectivity of the 28.5nm Mo/Si multilayer mirrors are measured at Xingguang-Ⅱ laser facility using a flat-field grating spectrograph with the Ne-like Cr x-ray laser as a soft x-ray source. The reflectivities obtained for two samples are 0031 and 0096. |
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| Keywords: | x ray multilayer mirror Reflectivity measure x ray laser |
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