| Ni-Si多层膜中固态非晶化反应的热力学与动力学过程 |
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| 引用本文： | 汪卫华,白海洋,张云,陈红,王文魁.Ni-Si多层膜中固态非晶化反应的热力学与动力学过程[J].物理学报,1993,42(9):1499-1504. |
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| 作者姓名： | 汪卫华 白海洋 张云 陈红 王文魁 |
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| 作者单位： | (1)中国科学院国际材料物理中心,沈阳110015;中国科学院物理研究所,北京100080; (2)中国科学院物理研究所,北京100080 |
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| 摘 要： | 研究了Ni/非晶Si(a-Si)多层组分调制膜(ML)中界面上的固相反应。根据计算的亚稳自由能图,对界面上固相反应形成非晶态进行了热力学与动力学的分析。提出了Ni/a-Si多层膜中的固相反应的动力学模型。
关键词：
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| 关 键 词： | 多层膜 镍－硅 固相反应 非晶化 |
| 收稿时间： | 1992-12-23 |
THERMODYNAMIC AND KINETIC ASPECTS OF SOLID STATE AMORPHIZATION REACTION IN Ni/a-Si MULTILAYER SYSTEM |
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| WANG WEI-HUA,BAI HAI-YANG,ZHANG YUN,CHEN HONG and WANG WEN-KUI.THERMODYNAMIC AND KINETIC ASPECTS OF SOLID STATE AMORPHIZATION REACTION IN Ni/a-Si MULTILAYER SYSTEM[J].Acta Physica Sinica,1993,42(9):1499-1504. |
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| Authors: | WANG WEI-HUA BAI HAI-YANG ZHANG YUN CHEN HONG and WANG WEN-KUI |
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| Abstract: | The interfacial solid state reaction was studied in the Ni/a-Si multilayer. The thermody-namic and kinetic aspects of the solid state amorphization was explained according to the calculated metastable free energy diagram. A kinetic reaction model for the solid state amorphization reaction of Ni/a-Si multilayers is developed. |
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| Keywords: | |
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