| 飞秒脉冲激光加热金属薄膜的理论和实验研究 |
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| 引用本文： | 马维刚,王海东,张兴,王玮.飞秒脉冲激光加热金属薄膜的理论和实验研究[J].物理学报,2011,60(6):64401-064401. |
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| 作者姓名： | 马维刚 王海东 张兴 王玮 |
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| 作者单位： | (1)北京大学微电子学研究院,北京 100871;微米纳米加工技术国家级重点实验室,北京 100871; (2)清华大学工程力学系,热科学与动力工程教育部重点实验室,北京 100084 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号:50730006,50976053)资助的课题. |
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| 摘 要： | 超短脉冲激光加热可应用于研究材料中载能子之间的超快相互作用,同时也广泛应用于超快激光加工.此前人们提出的双温度模型和抛物一步模型都只能用于描述超短脉冲激光加热金属薄膜后热量传递过程的特定片段.基于双温度模型和傅里叶导热定律,提出普适的理论模型可用于完整描述飞秒激光加热金属薄膜/基底时的整个热量传递过程.同时在300 K温度下,采用背面抽运-表面探测瞬态热反射法实验研究了飞秒脉冲激光加热金属薄膜的热量传递过程,理论预测曲线和实验测量结果符合较好,验证了理论模型的正确性.基于此模型测量得到了金薄膜的电子-声子
关键词：
飞秒脉冲激光
电子-声子耦合
界面热导
瞬态热反射
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| 关 键 词： | 飞秒脉冲激光 电子-声子耦合 界面热导 瞬态热反射 |
| 收稿时间： | 7/6/2010 12:00:00 AM |
Theoretical and experimental study of femtosecond pulse laser heating on thin metal film |
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| Ma Wei-Gang,Wang Hai-Dong,Zhang Xing,Wang Wei.Theoretical and experimental study of femtosecond pulse laser heating on thin metal film[J].Acta Physica Sinica,2011,60(6):64401-064401. |
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| Authors: | Ma Wei-Gang Wang Hai-Dong Zhang Xing Wang Wei |
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| Institution: | Key Laboratory for Thermal Science and Power Engineering of Ministry of Education, Department of Engineering Mechanics, Tsinghua University, Beijing 100084, China;Key Laboratory for Thermal Science and Power Engineering of Ministry of Education, Department of Engineering Mechanics, Tsinghua University, Beijing 100084, China;Key Laboratory for Thermal Science and Power Engineering of Ministry of Education, Department of Engineering Mechanics, Tsinghua University, Beijing 100084, China;Institute of Microelectronics, Peking University, Beijing 100871, China; National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication, Beijing 100871, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | femtosecond pulse laser electron-phonon coupling thermal boundary conductance transient thermoreflectance |
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