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γ-LiAlO2上非极性ZnO薄膜制备及其光谱性质研究
引用本文:周健华,周圣明,黄涛华,林辉,李抒智,邹军,王军,张荣.γ-LiAlO2上非极性ZnO薄膜制备及其光谱性质研究[J].物理学报,2007,56(7).
作者姓名:周健华  周圣明  黄涛华  林辉  李抒智  邹军  王军  张荣
作者单位:1. 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;中国科学院研究生院,北京,100049
2. 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800
3. 南京大学物理系,南京,210093
基金项目:国家自然科学基金;上海市浦江计划;中国科学院"百人计划"
摘    要:利用激光脉冲沉积(PLD)技术在(302)γ-LiAlO2衬底上成功生长了非极性的a面(11■0)ZnO薄膜.衬底温度为350℃时,薄膜是混合取向(a向和c向),以c面ZnO为主,且晶粒尺寸分布很宽;提高温度达500℃,薄膜变为单一的(11■0)取向,摇摆曲线半高宽0.65°,晶粒尺寸分布趋窄,利用偏振透射谱可以明显看出其面内的各向异性.衬底温度650℃下制备的样品晶粒继续长大,虽然摇摆曲线半高宽变大,但光致发光谱(PL)带边发射峰半高宽仅为105meV,比在350℃,500℃下制备的样品小1/5.

关 键 词:非极性ZnO  γ-LiAlO2  透射谱

Fabrication of nonpolar ZnO film on γ-LiAlO2 substrate and its photo-luminescence properties
Zhou Jian-Hua,Zhou Sheng-Ming,Huang Tao-Hua,Lin Hui,Li Shu-Zhi,Zou Jun,Wang Jun,Zhang Rong.Fabrication of nonpolar ZnO film on γ-LiAlO2 substrate and its photo-luminescence properties[J].Acta Physica Sinica,2007,56(7).
Authors:Zhou Jian-Hua  Zhou Sheng-Ming  Huang Tao-Hua  Lin Hui  Li Shu-Zhi  Zou Jun  Wang Jun  Zhang Rong
Abstract:
Keywords:PLD
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