| 基于透射谱的GaN薄膜厚度测量 |
| |
| 引用本文： | 张进城,郝跃,李培咸,范隆,冯倩.基于透射谱的GaN薄膜厚度测量[J].物理学报,2004,53(4):1243-1246. |
| |
| 作者姓名： | 张进城 郝跃 李培咸 范隆 冯倩 |
| |
| 作者单位： | 西安电子科技大学微电子研究所,西安 710071 |
| |
| 基金项目： | 国防预研项目(批准号：415010701)和国家重点基础研究发展规划(批准号：2002CB3119)资助的课题. |
| |
| 摘 要： | 通过对蓝宝石衬底异质外延GaN薄膜光学透射谱的分析，结合晶体薄膜的干涉效应原理并考虑折射率随光子波长变化的影响，从理论上推导出了实用的薄膜厚度计算方法. 实际应用表明，该方法是一种快速准确的GaN薄膜厚度测量方法.
关键词：
GaN
透射谱
厚度测量
|
| 关 键 词： | GaN 透射谱 厚度测量 |
| 收稿时间： | 6/6/2003 12:00:00 AM |
Thickness measurement of GaN film based on transmission spectra |
| |
| Zhang Jin-Cheng,Hao Yue,Li Pei-Xian,Fan Long and Feng Qian.Thickness measurement of GaN film based on transmission spectra[J].Acta Physica Sinica,2004,53(4):1243-1246. |
| |
| Authors: | Zhang Jin-Cheng Hao Yue Li Pei-Xian Fan Long and Feng Qian |
| |
| Abstract: | By analyzing the transmission spectra of hetero-epitaxial GaN films on sapphires, a film thickness measurement method is presented. The method uses the interference effect of the crystal film and considers the effect of the refractive index n on the photon wavelength. Applications of it show that the method is a rapid and precise one for measuring the film thickness of GaN crystals. |
| |
| Keywords: | GaN transmission spectra thickness measurement |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《物理学报》浏览原始摘要信息 |
| 点击此处可从《物理学报》下载免费的PDF全文 |
