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| 氟化类金刚石薄膜的拉曼和红外光谱结构研究 | |
| 引用本文： | 江美福,宁兆元.氟化类金刚石薄膜的拉曼和红外光谱结构研究[J].物理学报,2004,53(5):1588-1593. |
| 作者姓名： | 江美福 宁兆元 |
| 作者单位： | 苏州大学物理科学与技术学院,苏州,215006 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号:10175048)资助的课题. |
| 摘 要： | 关键词： |
| 关 键 词： | 反应磁控溅射 氟化类金刚石薄膜 拉曼光谱 红外吸收光谱 |
| 文章编号： | 1000-3290/2004/53(05)/1588-06 |
Structural analysis of fluorinated diamond-like carbon films by Raman and Fourier transform infrared absorption spectroscopy |
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| Jiang Mei-Fu,Ning Zhao-Yuan.Structural analysis of fluorinated diamond-like carbon films by Raman and Fourier transform infrared absorption spectroscopy[J].Acta Physica Sinica,2004,53(5):1588-1593. | |
| Authors: | Jiang Mei-Fu Ning Zhao-Yuan |
| Abstract: | Keywords： |
| Keywords: | reactive magnetron sputtering F-DLC films Raman spectra Fourier transforms infrared absorption spectra |
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