| 金刚石膜探测器研制 |
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| 引用本文： | 欧阳晓平,王兰,范如玉,张忠兵,王伟,吕反修,唐伟忠,陈广超.金刚石膜探测器研制[J].物理学报,2006,55(5):2170-2174. |
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| 作者姓名： | 欧阳晓平 王兰 范如玉 张忠兵 王伟 吕反修 唐伟忠 陈广超 |
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| 作者单位： | (1)北京科技大学功能材料研究所 100092; (2)清华大学工程物理系,北京 100084; (3)西北核技术研究所,西安 710024 |
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| 基金项目： | 感谢西北核技术研究所七室刘德敏研究员、涂国荣副研究员、十一室赵学庆及其项目组、三室彭宏论及其项目组、西安交通大学电子与信息工程学院卜忍安教授提供的宝贵帮助. |
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| 摘 要： | 采用直流电弧等离子喷射(DC arc plasma jet)CVD(chemical vapour deposition)工艺制成的金刚石薄膜，研制成功MSM(metal-semiconductor-metal)型CVD金刚石脉冲辐射探测器.对制作的金刚石薄膜材料及探测器有关性能进行了测量，结果表明，采用Raman shift<4.5cm-1的金刚石薄膜制成的探测器，可满足亚纳秒脉冲辐射探测的要求.由于其独特的物理性能，在制作成本合理的情况下，在脉冲辐射测量中可取代Si-PIN探测器.
关键词：
CVD
金刚石薄膜
辐射探测器
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| 关 键 词： | CVD 金刚石薄膜 辐射探测器 |
| 文章编号： | 1000-3290/2006/55（05）2170-05 |
| 收稿时间： | 06 14 2005 12:00AM |
| 修稿时间： | 8/8/2005 12:00:00 AM |
Preparation of diamond-film based radiation detector |
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| Ouyang Xiao-Ping,Wang Lan,Fang Ru-Yu,Zhang Zhong-Bing,Wang Wei,Lu Fan-Xiu,Tang Wei-Zhong,Cheng Guang-Chao.Preparation of diamond-film based radiation detector[J].Acta Physica Sinica,2006,55(5):2170-2174. |
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| Authors: | Ouyang Xiao-Ping Wang Lan Fang Ru-Yu Zhang Zhong-Bing Wang Wei Lu Fan-Xiu Tang Wei-Zhong Cheng Guang-Chao |
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| Abstract: | Detector grade diamond films have been prepared by DC Arc Plasma Jet chemical vapour deposition from CH4-H2 mixtures.Diamond detectors of pulsed radiation based on the films have been developed and preliminarily studied.The responses of the detector to 1.25MeV γ ray and pulsed ultraviolet laser with picosecond width show that this detector has a very fast time-response and about 70% charge collection efficiency.Its further applications will be found in sub-nanosecond pulse measurements. |
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| Keywords: | CVD |
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