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| 用改进的sol—gel法制备锆钛酸铅薄膜及其物相转化的研究 | |
| 引用本文： | 孟样建,程建功.用改进的sol—gel法制备锆钛酸铅薄膜及其物相转化的研究[J].物理学报,2000,49(4):811-815. |
| 作者姓名： | 孟样建 程建功 |
| 作者单位： | [1]中国科学院上海技术物理研究所,红外物理国家重点实验室 [2]中国科学院上海技术物理研究所,红外物理国家重点实验 |
| 摘 要： | 利用改进的ｓｏｌ－ｇｅｌ法，在Ｐｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ衬底上制备了ＰｂＺｒ０．５Ｔｉ０．５Ｏ３（ＰＶＴ５０／５０）薄膜，采用了一种新的方法，从同一前驱体溶液行到了厚度各异的单一退火层，研究了薄膜的结构和性质随单层退火厚度的改变而发生的变化，发现随着单一退火层度的降低，薄膜（１１１）取向的程度增大，同时薄膜的剩余极化和介电常量也逐渐增高，当单一退火层厚度降低到约为４０ｎｍ时，可行到高度（１１１）择 |
| 关 键 词： | sol－gel法 锆钛酸铅薄膜 物相转化 |
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