| Ni离子注入多晶ZrO2的表面电性能和结构 |
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| 引用本文： | 王国梅,恽怀顺,江冰,李兴丹,吴代华,杨生荣.Ni离子注入多晶ZrO2的表面电性能和结构[J].物理学报,1996,45(7):1160-1167. |
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| 作者姓名： | 王国梅 恽怀顺 江冰 李兴丹 吴代华 杨生荣 |
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| 作者单位： | 武汉工业大学材料工程系,武汉430070;武汉工业大学材料工程系,武汉430070;武汉工业大学材料工程系,武汉430070;武汉工业大学材料工程系,武汉430070;武汉工业大学材料工程系,武汉430070;中国科学院兰州化学物理研究所,兰州730000 |
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| 基金项目： | 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放研究实验室资助的课题 |
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| 摘 要： | 对氧化钇(Y2O3)部分稳定氧化锆(ZrO2)样品在室温下进行了Ni离子注入(140kev,5×1015-2×1017ios/cm2)和热退火处理.应用电学测量,Rutherford背散射技术(RBS),X射线光电子能谱(XPS)和喇曼光谱方法研究了Ni离子注入多晶ZrO2的表面电性能,注入层结构及其热退火的影响。
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| 关 键 词： | 氧化锆 多晶 镍离子 陶瓷 离子注入 表面电性能 |
| 收稿时间： | 6/9/1995 12:00:00 AM |
STRUCTURE AND SURFACE ELECTRICAL PROPERTIES OF POLYCRYSTALLINE ZrO2 IMPLANTED BY Ni ION |
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| WANG GUO-MEI,YUN HUAI-SHUN,JIANG BING,LI XING-DAN,WU DAI-HUA and YANG SHENG-RONG.STRUCTURE AND SURFACE ELECTRICAL PROPERTIES OF POLYCRYSTALLINE ZrO2 IMPLANTED BY Ni ION[J].Acta Physica Sinica,1996,45(7):1160-1167. |
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| Authors: | WANG GUO-MEI YUN HUAI-SHUN JIANG BING LI XING-DAN WU DAI-HUA and YANG SHENG-RONG |
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| Abstract: | In this paper, it is reported that the nickel ions (140 keV, 5×1015-2×1017ions/cm2) were implanted at room temperature into the specimens of yttria which were partially stabilized by zirconi-a. The annealing processes were decided . By making use of electric measurement, Rutherford back scattering spectroscopy (RBS), X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and Raman spectroscopy, we have studied the effects of implantation and annealing on the electrical properties of the surface and the structure of implanted layer of polycrystalline ZrO2. |
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