| a-Si:H/a-SiNx:H超晶格薄膜的光学性质 |
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| 引用本文： | 王志超,刘湘娜,冯小梅,耿晰昇.a-Si:H/a-SiNx:H超晶格薄膜的光学性质[J].物理学报,1988,37(2):189-196. |
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| 作者姓名： | 王志超 刘湘娜 冯小梅 耿晰昇 |
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| 作者单位： | 南京大学物理系 |
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| 摘 要： | 本文介绍,当a-SiNx:H层的厚度一定,a-Si:H层的厚度不同时,a-Si:H/a-SiNx:H超晶格薄膜的光吸收系数、光学禁带宽度以及折射率随之变化的规律。
关键词：
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| 收稿时间： | 1987-03-30 |
OPTICAL PROPERTIES OF THE a-Si:H/a-SiNx:H SUPERLATTICE FILMS |
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| WANG ZHI-CHAO,LIU XIANG-NA,FENG XIAO-MIE and GENG XI-SHENG.OPTICAL PROPERTIES OF THE a-Si:H/a-SiNx:H SUPERLATTICE FILMS[J].Acta Physica Sinica,1988,37(2):189-196. |
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| Authors: | WANG ZHI-CHAO LIU XIANG-NA FENG XIAO-MIE and GENG XI-SHENG |
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| Abstract: | In this paper, the optical absorption coefficient, optical gap and the index of refraction of a-Si:H/a-SiNx:H superlattice films were studied as a function of a-Si:H sublayer thickness with a-SiNx:H sublayer thickness being kept constant. |
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| Keywords: | |
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