| 离子注入合成β-FeSi2薄膜的显微结构 |
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| 引用本文： | 李晓娜,聂冬,董闯;,马腾才,金星,张泽.离子注入合成β-FeSi2薄膜的显微结构[J].物理学报,2002,51(1):115-124. |
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| 作者姓名： | 李晓娜 聂冬 董闯; 马腾才 金星 张泽 |
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| 作者单位： | (1)三束材料改性国家重点联合实验室大连理工大学分部 ,大连理工大学材料工程系 ,大连 1 1 60 2 4; (2)三束材料改性国家重点联合实验室大连理工大学分部,大连理工大学材料工程系,大连116024中国科学院北京电子显微镜实验室北京100080; (3)中国科学院北京电子显微镜实验室,北京100080 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金 (批准号 :5 9872 0 0 7)资助的课题 |
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| 摘 要： | 采用MEVVA源(MetalVaporVacuumArcIonSource)离子注入合成βFeSi2薄膜,用常规透射电镜和高分辨电镜研究了不同制备参数下βFeSi2薄膜的显微结构变化.研究结果表明:调整注入能量和剂量,可以得到厚度不同的βFeSi2表面层和埋入层.制备过程中生成的α,β,γ和CsCl型FeSi2相的相变顺序为γFeSi2→βFeSi2→αFeSi2,CsClFeSi2→βFeSi2→αFeSi2或βFeSi2→αFeSi2.当注入参数增加到60kV,4×1017ionscm2,就会导致非晶
关键词：
β-FeSi2
半导体薄膜
金属硅化物
离子注入
透射电子显微镜
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| 关 键 词： | β-FeSi2 半导体薄膜 金属硅化物 离子注入 透射电子显微镜 |
| 收稿时间： | 2001-03-10 |
| 修稿时间： | 2001年3月10日 |
Microstructure of |
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| Li Xiao-N,Nie Dong,Dong Chuang,Ma Teng-Cai,Jin Xing and Zhang Zhe.Microstructure of[J].Acta Physica Sinica,2002,51(1):115-124. |
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| Authors: | Li Xiao-N Nie Dong Dong Chuang Ma Teng-Cai Jin Xing and Zhang Zhe |
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| Abstract: | Ｉｒｏｎ ｓｉｌｉｃｉｄｅｆｉｌｍｓｈａｖｅｂｅｅｎｓｙｎｔｈｅｓｉｚｅｄｂｙｍｅｔａｌｖａｐｏｒｖａｃｕｕｍａｒｃ (ＭＥＶＶＡ)ｉｏｎｉｍｐｌａｎｔａｔｉｏｎｏｆｉｒｏｎｉｎｔｏ (1 1 1 )ａｎｄ
(1 0 0 )ｏｒｉｅｎｔｅｄｓｉｌｉｃｏｎｗａｆｅｒｓ.Ｔｈｅｓｔｒｕｃｔｕｒｅｅｖｏｌｕｔｉｏｎｗａｓｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚｅｄｕｓｉｎｇｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎｅｌｅｃｔｒｏｎｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ (ＴＥＭ)ａｎｄｈｉｇｈｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎｅｌｅｃｔｒｏｎｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ (ＨＲＥＭ) .ＴｈｅβFeSi2ｆｉｌｍｓａｎｄｂｕｒｉｅｄｌａｙｅｒｓｗｉｔｈｄｉｆｆｅｒｅｎｔｄｅｐｔｈａｎｄｔｈｉｃｋｎｅｓｓｗｅｒｅｏｂｔａｉｎｅｄｂｙａｄｊｕｓｔｉｎｇｔｈｅｉｍｐｌａｎｔａｔｉｏｎｅｎｅｒｇｙａｎｄｄｏｓｅ .Ｔｈｅｆｏｒｍａｔｉｏｎｏｆα,β,γａｎｄＣｓＣｌ ＦｅＳｉ2 ｐｈａｓｅｓｈａｖｅｂｅｅｎｏｂｓｅｒｖｅｄ .ＴｈｅｐｈａｓｅｔｒａｎｓｉｔｉｏｎｏｒｄｅｒｉｓγFeSi2→βFeSi2→αFeSi2,CsClFeSi2→βFeSi2→αFeSi2 or βFeSi2→αFeSi2.Ａｎａｍｏｒｐｈｏｕｓｌａｙｅｒｗａｓｆｏｒｍｅｄａｔ60ｋＶａｎｄ 4× 1 0 1 7ｉｏｎｓ ｃｍ2 ,ｔｈｅｐｈａｓｅｔｒａｎｓｉｔｉｏｎｏｒｄｅｒｉｓａｍｏｒｐｈｏｕｓ→β ＦｅＳｉ2 →α ＦｅＳｉ2 .Ｔｈｅｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙａｎｄｐｏｓｉｔｉｏｎｏｆｔｈｅｓｉｌｉｃｉｄｅｆｉｌｍｓｃｈａｎｇｅｗｉｔｈｔｈｅａｎｎｅａｌｉｎｇｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ.Ｔｈｅｓｉｌｉｃｉｄｅｇｒａｉｎｓｇｒｏｗｗｉｔｈｉｎｃｒｅａｓｉｎｇａｎｎｅａｌｉｎｇｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｗｉｔｈｆｕｒｔｈｅｒｉｎｃｒｅａｓｅｏｆｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ,ｔｈｅｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓｓｉｌｉｃｉｄｅｌａｙｅｒｓｓｈｒｉｎｋｉｎｔｏｉｓｏｌａｔｅｄｉｓｌａｎｄｓａｎｄｔｈｅｉｎｔｅｒｆａｃｅβ ＦｅＳｉ2 Ｓｉｂｅ ｃｏｍｅｓｒｏｕｇｈｅｒ.Ｉｎｔｈｉｓｐａｐｅｒ,ｔｈｅｃｏｍｐｌｉｃａｔｅｄｏｒｉｅｎｔａｔｉｏｎｒｅｌａｔｉｏｎｓｈｉｐｓｅｘｉｓｔｉｎｇｂｅｔｗｅｅｎβ ＦｅＳｉ2 ａｎｄＳｉｗｅｒｅａｌｓｏｉｎｖｅｓｔｉｇａｔｅｄ |
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| Keywords: | FeSi 2 ion implantation TEM semiconductor film metallic silicide |
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