| 温度对ZnO/Al2O3(0001)界面的吸附、扩散及生长初期模式的影响 |
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| 引用本文： | 杨春,余毅,李言荣,刘永华.温度对ZnO/Al2O3(0001)界面的吸附、扩散及生长初期模式的影响[J].物理学报,2005,54(12). |
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| 作者姓名： | 杨春 余毅 李言荣 刘永华 |
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| 基金项目： | 科技部科研项目，四川省应用基础研究计划，四川省教育厅资助项目 |
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| 摘 要： | 构建了一个ZnO沉积在α-Al2O3(0001)表面生长初期的模型,采用基于密度泛函理论的平面波超软赝势法进行了动力学模拟.发现在400,600和800℃的条件下界面原子有不同的扩散能力,因此温度对ZnO/α-Al2O3(0001)表面界面结构以及ZnO薄膜生长初期模式有决定性的影响.在整个ZnO吸附生长过程中,O原子的扩散系数大于Zn原子的扩散系数,O原子的层间扩散对薄膜的均匀生长起着重要作用.进一步从理论计算上证实了ZnO在蓝宝石(0001)上两种生长模式的存在,400℃左右生长模式主要是Zn螺旋扭曲生长,具有Zn六角平面对称特征,且有利于Zn原子位于最外表面.600℃左右呈现为比较规则的层状生长,且有利于O原子位于最外表面.模拟观察到在ZnO薄膜临近Al2O3基片表面处,Zn的空位缺陷明显多于O的空位缺陷.
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| 关 键 词： | 扩散 薄膜生长 α-Al2O3(0001) ZnO |
Temperature effect on the adsorption, diffusion and initial growth mode of ZnO/Al2O3 (0001) from first principles |
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| Yang Chun,Yu Yi,Li Yan-Rong,Liu Yong-Hua.Temperature effect on the adsorption, diffusion and initial growth mode of ZnO/Al2O3 (0001) from first principles[J].Acta Physica Sinica,2005,54(12). |
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| Authors: | Yang Chun Yu Yi Li Yan-Rong Liu Yong-Hua |
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