| 利用总积分散射仪对光学薄膜表面散射特性的研究 |
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| 引用本文： | 侯海虹,孙喜莲,田光磊,吴师岗,马小凤,邵建达,范正修.利用总积分散射仪对光学薄膜表面散射特性的研究[J].物理学报,2009,58(9):6425-6429. |
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| 作者姓名： | 侯海虹 孙喜莲 田光磊 吴师岗 马小凤 邵建达 范正修 |
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| 作者单位： | (1)常熟理工学院物理系，常熟 215500；中国科学院上海光学精密机械研究所，上海 201800; (2)中国科学院上海光学精密机械研究所，上海 201800 |
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| 基金项目： | 江苏省高校自然科学研究项目（批准号：KY200684）和江苏省高校“青蓝工程”资助的课题. |
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| 摘 要： | 利用总积分散射仪对不同条件下制备的金属银膜、Y2O3稳定ZrO2（YSZ）薄膜、TiO2薄膜和1064 nm与532 nm双波长增透膜的表面均方根（RMS）粗糙度和散射特性的变化规律进行了系统研究，并与样品的制备条件、生长过程、材料组成及光学特性等各方面相结合，对测量结果做出了合理解释，从而使总积分散射测量在其他领域的研究得以扩展和应用.
关键词：
光学薄膜
表面散射
总积分散射仪
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| 关 键 词： | 光学薄膜 表面散射 总积分散射仪 |
| 收稿时间： | 2008-03-26 |
Research on the surface scattering properties of optical films by the total integrated scatter |
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| Hou Hai-Hong,Sun Xi-Lian,Tian Guang-Lei,Wu Shi-Gang,Ma Xiao-Feng,Shao Jian-Da,Fan Zheng-Xiu.Research on the surface scattering properties of optical films by the total integrated scatter[J].Acta Physica Sinica,2009,58(9):6425-6429. |
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| Authors: | Hou Hai-Hong Sun Xi-Lian Tian Guang-Lei Wu Shi-Gang Ma Xiao-Feng Shao Jian-Da Fan Zheng-Xiu |
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| Abstract: | The root mean square （RMS） roughness and surface scattering of Ag films，Y2O3-stabilized ZrO2 films，TiO2 films，and 1064 nm & 532 nm two-wavelength-reflection-reducing films are studied respectively by the total integrated scatter. Considering the preparation condition，growth process，material composition，and optical characteristics of the samples，the above measurement results are explained reasonably. |
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| Keywords: | optical films surface scattering total integrated scatter |
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