a-Si:H/a-SiN_x:H超晶格薄膜的光学性质 |
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引用本文: | 王志超,刘湘娜,冯小梅,耿晰昇.a-Si:H/a-SiN_x:H超晶格薄膜的光学性质[J].物理学报,1988(2). |
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作者姓名: | 王志超 刘湘娜 冯小梅 耿晰昇 |
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作者单位: | 南京大学物理系
(王志超,刘湘娜,冯小梅),南京大学物理系(耿晰昇) |
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摘 要: | 本文介绍,当a-SiN_x:H层的厚度一定,a-Si:H层的厚度不同时,a-Si:H/a-SiN_x:H超晶格薄膜的光吸收系数、光学禁带宽度以及折射率随之变化的规律。
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