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| 电解有机溶液法制备CNx薄膜 | |
| 引用本文： | 许杞安,沈明荣,宁兆元,朱警生.电解有机溶液法制备CNx薄膜[J].物理学报,1999,48(7):1292-1296. |
| 作者姓名： | 许杞安 沈明荣 宁兆元 朱警生 |
| 作者单位： | 苏州大学物理系，中国科学技术大学结构分析开放研究实验室 |
| 摘 要： | 在６０℃和常压下，电解甲醇和脲的混合溶液在硅基片上沉积ＣＮｘ薄膜．傅里叶红外和Ｒａｍａｎ测试表明，所得薄膜是非晶态的，碳和氮主要是以Ｃ—Ｎ，Ｃ—Ｃ，ＣＣ和ＣＮ的形式成键，有少量的碳和氮以ＣＮ的形式成键．Ｘ射线光电子能谱测试表明，氮是以ＳＰ２和ＳＰ３杂化形式与碳化学成键来成膜的．测试结果表明通过液相沉积法所得ＣＮｘ薄膜与汽相沉积法所得ＣＮｘ薄膜的结构比较接近 |
| 关 键 词： | CN薄膜 电解有机溶液法 薄膜制备 |
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