| 不同衬底上Pb(Zr0.52Ti0.48)O3择优取向铁电薄膜的制备和研究 |
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| 引用本文： | 李建康,姚熹.不同衬底上Pb(Zr0.52Ti0.48)O3择优取向铁电薄膜的制备和研究[J].物理学报,2005,54(6). |
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| 作者姓名： | 李建康 姚熹 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划) |
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| 摘 要： | 通过MOD法在Si(100)和Pt(111)/Ti/SiO2/Si基片上制备出LaNiO3 (LNO)薄膜.再通过修正的Sol-gel法,在Pt(111)/Ti/SiO2/Si,LNO/Si(100)和LNO/Pt/Ti/SiO2/Si三种衬底上制备出具有择优取向的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3铁电薄膜.经XRD分析表明,LNO薄膜具有(100)择优取向的类钙钛矿结构;PZT薄膜均具有钙钛矿结构,且在Pt(111)/Ti/SiO2/Si衬底上的薄膜以(110)择优取向,在LNO/Pt/Ti/SiO2/Si和LNO/Si(100)衬底上的薄膜以(100)择优取向.经场发射SEM分析和介电、铁电性能测试表明,在LNO/Si和LNO/Pt/Ti/SiO2/Si衬底上的PZT薄膜的平均粒径、介电常数以及剩余极化强度均比以Pt/Ti/SiO2/Si为衬底的薄膜大.
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| 关 键 词： | LaNiO3薄膜 PZT铁电薄膜 择优取向 剩余极化强度 |
Preparation and study on epitaxial Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 ferroelectric films on different substrates |
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| LI Jian-Kang,Yao Xi.Preparation and study on epitaxial Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 ferroelectric films on different substrates[J].Acta Physica Sinica,2005,54(6). |
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| Authors: | LI Jian-Kang Yao Xi |
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| Keywords: | |
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