| 溶胶-凝胶VO2薄膜转换特性研究 |
| |
| 引用本文： | 袁宁一,李金华,林成鲁.溶胶-凝胶VO2薄膜转换特性研究[J].物理学报,2002,51(4):852-856. |
| |
| 作者姓名： | 袁宁一 李金华 林成鲁 |
| |
| 作者单位： | (1)江苏石油化工学院信息科学系功能材料实验室,常州213016; (2)江苏石油化工学院信息科学系功能材料实验室,常州213016中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室,上海200050; (3)中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室,上海200050 |
| |
| 基金项目： | 中国科学院上海冶金研究所离子束开放实验室资助的课题~~ |
| |
| 摘 要： | 利用溶胶凝胶法在SiO2Si衬底上沉积高取向的V2O5薄膜,在压强低于2Pa,温度高于400℃的条件下,对V2O5薄膜进行真空烘烤,获得了电阻率变化3个数量级以上、弛豫宽度为62℃的VO2多晶薄膜.以X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)图和电阻率转换特性等实验结果为依据,详细分析了溶胶凝胶薄膜在真空烘烤时从V2O5向VO2的转化,它经历了从VnO2n+1(n=2,3,4,6)到VO2的过程.实验证明,根据选择合适的成膜热处理条件和真空烘烤条件是实现溶胶凝胶V2O5结构向VO2结构成功转换的关键
关键词：
溶胶-凝胶法 氧化钒薄膜 VO2膜转换特性
|
| 关 键 词： | 溶胶-凝胶法 氧化钒薄膜 VO2膜转换特性 |
| 收稿时间： | 2001-08-13 |
| 修稿时间： | 2001年8月13日 |
Switching property of sol-gel vanadium oxide thin films |
| |
| Yuan Ning-Yi,Li Jin-Hua and Lin Cheng-Lu.Switching property of sol-gel vanadium oxide thin films[J].Acta Physica Sinica,2002,51(4):852-856. |
| |
| Authors: | Yuan Ning-Yi Li Jin-Hua and Lin Cheng-Lu |
| |
| Abstract: |
Keywords： |
| |
| Keywords: | sol gel method thin films of vanadium oxides switching property of VO 2 thin film |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《物理学报》浏览原始摘要信息 |
| 点击此处可从《物理学报》下载免费的PDF全文 |
|
