| 小角x射线散射确定TiNi薄膜中晶化粒子的长大激活能 |
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| 引用本文： | 孟繁玲,李永华,徐耀,王煜明.小角x射线散射确定TiNi薄膜中晶化粒子的长大激活能[J].物理学报,2002,51(9):2086-2089. |
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| 作者姓名： | 孟繁玲 李永华 徐耀 王煜明 |
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| 作者单位： | 吉林大学材料科学系,长春130023 |
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| 摘 要： | 用小角x射线散射技术研究以直流磁控溅射方法制备TiNi合金薄膜其退火生成的晶化粒子的长大行为.发现在室温下溅射的TiNi合金薄膜存在小于1nm尺寸的微空洞,将退火后薄膜的小角x射线散射强度扣除退火前微空洞产生的小角x射线散射强度,用这种方法得到的散射强度遵从Porod定律;而用通常方法扣除背底得到的散射强度结果不满足Porod定律.TiNi合金薄膜在733—793K之间退火晶化粒子的长大激活能Eg=301kJmol.
关键词：
TiNi薄膜
晶化粒子
长大激活能
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| 关 键 词： | TiNi薄膜 晶化粒子 长大激活能 |
| 文章编号： | 1000-3290/2002/51(09)/2086-04 |
| 收稿时间： | 2001-11-16 |
| 修稿时间： | 2001年11月16 |
Determination of activation energy of growth of the crystalline particles in TiNi thin films by SAXS |
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| Meng Fan-Ling,Li Yong-Hu,Xu Yao and Wang Yu-Ming.Determination of activation energy of growth of the crystalline particles in TiNi thin films by SAXS[J].Acta Physica Sinica,2002,51(9):2086-2089. |
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| Authors: | Meng Fan-Ling Li Yong-Hu Xu Yao and Wang Yu-Ming |
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| Abstract: |
Keywords： |
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| Keywords: | TiNi thin films crystalline particles activation energy of growth |
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