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| 高速沉积本征微晶硅的优化及其在太阳电池中的应用 | |
| 引用本文： | 韩晓艳,侯国付,魏长春,张晓丹,戴志华,李贵君,孙建,陈新亮,张德坤,薛俊明,赵颖,耿新华.高速沉积本征微晶硅的优化及其在太阳电池中的应用[J].物理学报,2009,58(6):4254-4259. |
| 作者姓名： | 韩晓艳 侯国付 魏长春 张晓丹 戴志华 李贵君 孙建 陈新亮 张德坤 薛俊明 赵颖 耿新华 |
| 作者单位： | 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所，光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室，光电信息技术科学教育部重点实验室，天津 300071 |
| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划（批准号：2006CB202602，2006CB202603）、国家自然科学基金（批准号：60506003）、国家科技计划配套项目（批准号：07QTPTJC29500）和天津市应用基础研究计划（批准号：07JCYBJC04000）资助的课题. |
| 摘 要： | 采用高压高功率的甚高频等离子体增强化学气相沉积（VHF-PECVD）技术高速（沉积速率约为1.2 nm/s）沉积了一系列不同厚度的本征微晶硅薄膜，并通过Raman谱和XRD谱的测试，研究了高速沉积时本征微晶硅薄膜的微结构演变特性及其对电池性能的影响.针对其微结构特性及高速沉积本身存在的离子轰击作用强的特点，提出了在沉积微晶硅薄膜过程中采用功率梯度的方法，达到有效地控制薄膜微结构变化的目的，并在一定功率梯度范围内降低了电子温度，提高了薄膜质量，从而使电池效率明显提高.最后在沉积速率为1.2 nm/s时，制备
关键词：
高速沉积
微晶硅薄膜
微结构演变
功率梯度 |
| 关 键 词： | 高速沉积 微晶硅薄膜 微结构演变 功率梯度 |
| 收稿时间： | 2008-10-03 |
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