| 矢量光共焦扫描显微系统纳米标准样品的制备与物理测量精度 |
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| 引用本文： | 李潇男,关国荣,刘忆琨,梁浩文,张爱琴,周建英.矢量光共焦扫描显微系统纳米标准样品的制备与物理测量精度[J].物理学报,2019(14):358-366. |
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| 作者姓名： | 李潇男 关国荣 刘忆琨 梁浩文 张爱琴 周建英 |
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| 作者单位： | 中山大学光电材料与技术国家重点实验室;中山大学电子与信息工程学院 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号:11534017,11704421);中央高校基本科研业务费专项资金(批准号:16lgpy53,171gpy20,17lgjc39);广州市科技计划(批准号:201805010004)资助的课题~~ |
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| 摘 要： | 针对超分辨领域分辨率测量标准的缺失情况,本文介绍了一种用于纳米尺度分辨率测试的标准样品的设计方案和制备方法,该样品适用于矢量光共聚焦激光扫描显微系统.该设计方案包含一系列测量图案和明确的指示标记,具有测量范围宽、线宽梯级序列分布合理、制备精度高等特点.首先在非晶硅片上实现硅纳米标准样品的制备,并经过多次探索工艺,提高了测试图案的精度.光学测试结果证实该纳米标样可用于分辨率测试,同时测得矢量光共聚焦激光扫描显微镜的分辨率为96 nm(n=1.52,405 nm光源).针对硅纳米标准样品低对比度的问题,本文提供石英片上金属纳米标准样品的制备方法作为补充.纳米标准样品的实现,为点扫描式超分辨显微镜的分辨率指标提供了一种更严谨的测试途径,同时能够为显微镜的调试提供原理性指导.测试中发现纳米尺度的光学成像效果除了受到样品形貌的影响外,还受到到样品的光电物性的影响,其相互作用机理尚待进一步深入研究.
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| 关 键 词： | 微纳加工 标准样品 超分辨 共聚焦激光扫描显微镜 |
Fabrication and physical measurement accuracy of nanoscale standard samples for vector beams confocal laser scanning microscopy |
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| Li Xiao-Nan,Guan Guo-Rong,Liu Yi-Kun,Liang Hao-Wen,Zhang Ai-Qin,Zhou Jian-Ying.Fabrication and physical measurement accuracy of nanoscale standard samples for vector beams confocal laser scanning microscopy[J].Acta Physica Sinica,2019(14):358-366. |
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| Authors: | Li Xiao-Nan Guan Guo-Rong Liu Yi-Kun Liang Hao-Wen Zhang Ai-Qin Zhou Jian-Ying |
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| Institution: | (State Key Laboratory of Optoelectronic Materials and Technologies,Sun Yat-sen University,Guangzhou 510275,China;School of Electronic and Information Engineering,Sun Yat-sen University,Guangzhou 510275,China) |
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| Abstract: | Li Xiao-Nan;Guan Guo-Rong;Liu Yi-Kun;Liang Hao-Wen;Zhang Ai-Qin;Zhou Jian-Ying(State Key Laboratory of Optoelectronic Materials and Technologies,Sun Yat-sen University,Guangzhou 510275,China;School of Electronic and Information Engineering,Sun Yat-sen University,Guangzhou 510275,China) |
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| Keywords: | micro-and nanofabrication standard sample super-resolution confocal laser scanning microscopy |
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