| TiN/Al2O3纳米多层膜的共格外延生长及超硬效应 |
| |
| 引用本文： | 孔明,魏仑,董云杉,李戈扬.TiN/Al2O3纳米多层膜的共格外延生长及超硬效应[J].物理学报,2006,55(2). |
| |
| 作者姓名： | 孔明 魏仑 董云杉 李戈扬 |
| |
| 基金项目： | 上海市专利技术再创新项目 |
| |
| 摘 要： | 采用多靶磁控溅射法制备了一系列具有不同Al2O3调制层厚度的TiN/Al2O3纳米多层膜.利用X射线能量色散谱、X射线衍射、扫描电子显微镜、高分辨透射电子显微镜和微力学探针表征了多层膜的成分、微结构和力学性能.研究结果表明,在TiN/Al2O3纳米多层膜中,单层膜时以非晶态存在的Al2O3层在厚度小于1.5 nm时因TiN晶体层的模板效应而晶化,并与TiN层形成共格外延生长,相应地,多层膜产生硬度明显升高的超硬效应,最高硬度可达37.9 GPa.进一步增加多层膜中Al2O3调制层的层厚度,Al2O3层逐渐形成非晶结构并破坏了多层膜的共格外延生长,使得多层膜的硬度逐步降低.
|
| 关 键 词： | TiN/Al2O3纳米多层膜 外延生长 非晶晶化 超硬效应 |
Epitaxial growth and superhardness effect in TiN/Al2O3 nanomultilayers |
| |
| Kong Ming,Wei Lun,Dong Yun-Shan,Li Ge-Yang.Epitaxial growth and superhardness effect in TiN/Al2O3 nanomultilayers[J].Acta Physica Sinica,2006,55(2). |
| |
| Authors: | Kong Ming Wei Lun Dong Yun-Shan Li Ge-Yang |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《物理学报》浏览原始摘要信息 |
| 点击此处可从《物理学报》下载免费的PDF全文 |
|
