| 用改进的sol-gel法制备锆钛酸铅薄膜及其物相转化的研究 |
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| 引用本文： | 孟祥建,程建功,李标,唐军,叶红娟,郭少令,褚君浩.用改进的sol-gel法制备锆钛酸铅薄膜及其物相转化的研究[J].物理学报,2000,49(4):811-814. |
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| 作者姓名： | 孟祥建 程建功 李标 唐军 叶红娟 郭少令 褚君浩 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所,红外物理国家重点实验室,上海200083 |
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| 摘 要： | 利用改进的solgel法,在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了PbZr0.5Ti0.5O3(PZT50/50)薄膜.采用了一种新的方式,从同一前驱体溶液得到了厚度各异的单一退火层.研究了薄膜的结构和性质随单层退火厚度的改变而发生的变化,发现随着单一退火层厚度的降低,薄膜(111)取向的程度增大,同时薄膜的剩余极化和介电常量也逐渐增高.当单一退火层厚度降低到约为40nm时,可得到高度(111)择优取向的PZT薄膜.从薄膜成核机理的基础上讨论了薄膜结构变化的内在因素,认为随单一退火层厚度的增加薄膜由单一的
关键词：
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| 收稿时间： | 7/8/1999 12:00:00 AM |
Fcharacterization of Phase Transformations in PZT Thin Films Prepared by a Modified Sol-Gel Technique |
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| Meng Xiang-jian,Cheng Jian-gong,Li Biao,Tang Jun,Ye Hong-juan,Guo Shao-lin,Chu Jun-hao.Fcharacterization of Phase Transformations in PZT Thin Films Prepared by a Modified Sol-Gel Technique[J].Acta Physica Sinica,2000,49(4):811-814. |
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| Authors: | Meng Xiang-jian Cheng Jian-gong Li Biao Tang Jun Ye Hong-juan Guo Shao-lin Chu Jun-hao |
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