| 利用强流脉冲离子束技术在室温下沉积类金刚石薄膜研究 |
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| 引用本文： | 梅显秀,徐军,马腾才.利用强流脉冲离子束技术在室温下沉积类金刚石薄膜研究[J].物理学报,2002,51(8):1875-1880. |
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| 作者姓名： | 梅显秀 徐军 马腾才 |
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| 作者单位： | 三束材料改性国家重点实验室,大连理工大学,大连116024 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金 (批准号 :1983 5 0 3 0 )资助的课题~~ |
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| 摘 要： | 利用强流脉冲离子束技术在Si基体上快速大面积沉积类金刚石(DLC)薄膜.电压为250kV,束流密度为250A·cm-2,脉宽为80—100ns,能流密度为5J·cm-2的离子束(主要由碳离子和氢离子组成)聚焦到石墨靶材上,使石墨靶材充分蒸发和电离,在石墨靶的法线方向的Si基体上沉积非晶的碳薄膜.Raman谱分析显示,所沉积薄膜为类金刚石薄膜.随着靶材与基体之间距离的减小,薄膜中sp3碳成分含量增加,同时硬度值也有所增大,并且薄膜的摩擦系数和表面粗糙度增加.x射线光电子能谱(XPS)分析显示薄膜中的sp3碳
关键词：
强流脉冲离子束
类金刚石薄膜
XPSRaman谱分析
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| 关 键 词： | 强流脉冲离子束 类金刚石薄膜 XPSRaman谱分析 |
| 收稿时间： | 2001-11-16 |
| 修稿时间： | 2001年11月16 |
Preparation of diamond-like carbon films by high-intensity pulsed-ion-beam deposition at room temperature |
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| Mei Xian-Xiu,Xu Jun and Ma Teng-Cai.Preparation of diamond-like carbon films by high-intensity pulsed-ion-beam deposition at room temperature[J].Acta Physica Sinica,2002,51(8):1875-1880. |
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| Authors: | Mei Xian-Xiu Xu Jun and Ma Teng-Cai |
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| Abstract: |
Keywords： |
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| Keywords: | HIPIBs DLC film XPS Raman spectra analysis |
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