| nc-Si/SiO2多层膜的制备及蓝光发射 |
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| 引用本文： | 隋妍萍,马忠元,陈坤基,李伟,徐骏,黄信凡.nc-Si/SiO2多层膜的制备及蓝光发射[J].物理学报,2003,52(4):989-992. |
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| 作者姓名： | 隋妍萍 马忠元 陈坤基 李伟 徐骏 黄信凡 |
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| 作者单位： | 南京大学物理系,固体微结构物理国家重点实验室，南京 210093 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金、国家重点基础研究发展规划（批准号：10174035，90101020和2001CB610503）和江苏省自然科学基金（批准号：BK2001028和BG2001002）资助的课题. |
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| 摘 要： | 在等离子体增强化学气相淀积(PECVD)系统中，采用a-Si∶H层淀积与原位等离子体氧化相结合的逐层生长的方法成功制备出a-Si∶H/SiO2多层膜 (ML)；利用限制性结晶原理通过两步退火处理使a-Si∶H层晶化获得尺寸可控的nc-Si/SiO2 ML，并观察到室温下的蓝光发射；结合Raman散射和剖面透射电子显微镜技术分析了nc-Si/SiO2 ML的结构特性；通过对晶化样品光致发光谱和紫外-可见光吸收谱的研究，探讨了蓝光发射的起源.
关键词：
纳米硅多层膜
等离子体氧化
蓝光发射
热退火
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| 关 键 词： | 纳米硅多层膜 等离子体氧化 蓝光发射 热退火 |
| 文章编号： | 1000-3290(2003)04-0989-04 |
| 收稿时间： | 2002-07-15 |
| 修稿时间： | 9/9/2002 12:00:00 AM |
The fabrication of nc-Si/SiO2 multilayers and blue-light emission |
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| Sui Yan-Ping,Ma Zhong-Yuan,Chen Kun-Ji,Li Wei,Xu Jun and Huang Xin-Fan.The fabrication of nc-Si/SiO2 multilayers and blue-light emission[J].Acta Physica Sinica,2003,52(4):989-992. |
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| Authors: | Sui Yan-Ping Ma Zhong-Yuan Chen Kun-Ji Li Wei Xu Jun and Huang Xin-Fan |
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| Abstract: | A new fabrication method of a-Si∶H/SiO2 mutilayers (ML) is successfully employed by using layer by layer deposition of a-Si∶H sublayer and in situ plasma oxidation in a plasma-enhanced chemical vapor deposition system. Based on the constrained crystallization principle of a-Si∶H sublayer, the size-controlled nc-Si/SiO2 ML was obtained by the crystallization treatment including a rapid thermal process and furnace annealing. Blue photoluminescence is observed in the crystallized a-Si∶H/SiO2 ML at room temperature. The structure property of the nc-Si/SiO2 ML is investigated by transmission electron microscopy and Raman scattering spectroscopy. The origin of the blue-light emission is briefly discussed in combination with PL and absorption measurements. |
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| Keywords: | nc-Si/SiO2 mutilayers plasma oxidation blue-light emission thermal annealing |
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