| 热舟蒸发LaF3薄膜的紫外性能研究 |
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| 引用本文： | 尚淑珍,邵建达,范正修,赵祖欣.热舟蒸发LaF3薄膜的紫外性能研究[J].物理学报,2008,57(3). |
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| 作者姓名： | 尚淑珍 邵建达 范正修 赵祖欣 |
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| 基金项目： | 上海市重点学科建设项目 |
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| 摘 要： | 研究了沉积温度对热舟蒸发氟化镧薄膜结构和光学性能的影响,沉积温度从200℃上升到350℃.间隔为50℃.采用分光光度计测量了样品的透射率和反射率光谱曲线,并在此基础上进行了光学损耗、光学常数以及带隙和截止波长的计算.采用表面轮廓仪进行了表面形貌和表面粗糙度的标定,采用X射线衍射(XRD)方法测量了不同沉积温度下样品的微结构.发现在短波长波段,随着沉积温度的升高,光学损耗增加,晶粒尺寸增大,表面粗糙度略有增加.不过散射损耗在光学损耗中所占比例均很小,光学损耗的增加主要由吸收损耗引起.随着沉积温度的升高,折射率与消光系数增大,带隙变小,相对应的截止波长向长波方向移动.
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| 关 键 词： | 光学薄膜 沉积温度 LaF3 光学损耗 蒸发 薄膜 紫外性能 研究 films properties 移动 波方向 对应 消光系数 折射率 吸收损耗 比例 散射损耗 晶粒尺寸 长波段 短波 发现 微结构 方法 |
The study of ultraviolet properties of resistant-boat evaporated LaF3 films |
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| Shang Shu-Zhen,Shao Jian-Da,Fan Zheng-Xiu,Zhao Zhu-Xin.The study of ultraviolet properties of resistant-boat evaporated LaF3 films[J].Acta Physica Sinica,2008,57(3). |
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| Authors: | Shang Shu-Zhen Shao Jian-Da Fan Zheng-Xiu Zhao Zhu-Xin |
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