| PbTiO3/PbZr0.3Ti0.7O3/PbTiO3夹心结构铁电薄膜子晶层的优化 |
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| 引用本文： | 王龙海,于军,王耘波,高峻雄,赵素玲.PbTiO3/PbZr0.3Ti0.7O3/PbTiO3夹心结构铁电薄膜子晶层的优化[J].物理学报,2008,57(2). |
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| 作者姓名： | 王龙海 于军 王耘波 高峻雄 赵素玲 |
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| 摘 要： | 用Sol-Gel法制备了Pb(1 x)TiO3/PbZr0.3Ti0.7O3/Pb(1 x)TiO3(PT/PZT/PT)夹心结构及PZT铁电薄膜,为了获得高质量的PT/PZT/PT夹心结构铁电薄膜,使用不同过量Pb配比(x)的PbTiO3 (PT)层进行制备,以获得优化的PT子晶层.X射线衍射和原子力显微镜分析结果表明PT层中过量Pb配比(x)对薄膜的微结构影响很大,只有PT层中Pb过量配比x＝0.10-0.15的薄膜为表面晶粒大小均匀致密的纯钙钛矿结构.X射线电子能谱对薄膜微区进行元素成分分析表明,对x=0.00的薄膜,在表面和界面处Pb明显的缺乏;而x=0.20时的薄膜,Pb则明显的过量.薄膜的铁电性能、疲劳特性和漏电流特性等电学性能与PT层中过量Pb配比(x)没有明显的变化趋势,但与薄膜的结晶性能密切相关.结晶性能较好的薄膜,其电学性能也较好.说明PT层中过量Pb配比(x)是通过影响PT子晶层自身的结晶,而影响整个薄膜的结晶行为,并进一步影响到整个薄膜的电学性能.因此,在其他工艺参数都相同时,PT层中合适的过量Pb配比应为x=0.10-0.15.优化的子晶层不仅能获得结晶性能较好的薄膜,而且薄膜的电学性能也好.
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| 关 键 词： | PT/PZT/PT 夹心结构 子晶 铁电薄膜 夹心结构 铁电薄膜 晶层 优化 seed layer Optimization ferroelectric thin film 工艺参数 结晶行为 结构影响 相关 结晶性能 变化趋势 电学性能 电流特性 疲劳特性 铁电性能 表面和界面 分析表 元素成分 |
Optimization of seed layer of PbTiO3/PbZr0.3Ti0.7O3/PbTiO3 sandwich structure ferroelectric thin film |
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| Wang Long-Hai,Yu Jun,Wang Yun-Bo,Gao Jun-Xiong,Zhao Su-Ling.Optimization of seed layer of PbTiO3/PbZr0.3Ti0.7O3/PbTiO3 sandwich structure ferroelectric thin film[J].Acta Physica Sinica,2008,57(2). |
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| Authors: | Wang Long-Hai Yu Jun Wang Yun-Bo Gao Jun-Xiong Zhao Su-Ling |
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