| 预注入对Si_(1-x)C_x合金形成的影响 |
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| 引用本文： | 王引书,李晋闽,王衍斌,王玉田,孙国胜,林兰英.预注入对Si_(1-x)C_x合金形成的影响[J].物理学报,2001(7). |
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| 作者姓名： | 王引书 李晋闽 王衍斌 王玉田 孙国胜 林兰英 |
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| 作者单位： | 北京师范大学物理系!北京100875(王引书)，中国科学院半导体研究所!北京100083(李晋闽，王玉田，孙国胜，林兰英)，中国科学院近代物理研究所!兰州730000(王衍斌) |
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| 摘 要： | 室温下在单晶Si中注入 (0 6— 1 5 )at%的C原子 ,部分样品在C离子注入之前在其中注入2 9Si 离子产生损伤 ,然后在相同条件下利用高温退火固相外延了Si1 -xCx 合金 ,研究了预注入对Si1 -xCx 合金形成的影响 .如果注入C离子的剂量小于引起Si非晶化的剂量 ,在 95 0℃退火过程中注入产生的损伤缺陷容易与C原子结合形成缺陷团簇 ,难于形成Si1 -xCx 合金 ,预注入形成的损伤有利于合金的形成 .随着C离子剂量的增大 ,注入产生的损伤增强 ,预注入反而不利于Si1 -xCx 合金的形成 ,但当注入C原子的浓度超过固相外延的溶解度时 ,预注入的影响可以忽略 .退火温度升高到 10 5 0℃ ,无论预注入还是未预注入样品 ,C含量低的合金相仍然保留 ,而C含量高的合金相大部分消失 .
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| 关 键 词： | 离子注入 固相外延 Si1-xCx合金 |
THE EFFECTS OF PRE-IRRADIATION ON THE FORMATION OF Si_(1-x)C_x ALLOYS |
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| WANG YIN-SHU\ \{\}\ LI JIN-MIN\ \{\}\ WANG YAN-BIN\ \{\}\ WANG YU-TIAN\ \{\}\ SUN GUO-SHENG\ \{\}\ LIN LAN-YING\ \{\}.THE EFFECTS OF PRE-IRRADIATION ON THE FORMATION OF Si_(1-x)C_x ALLOYS[J].Acta Physica Sinica,2001(7). |
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| Authors: | WANG YIN-SHU\ \{\}\ LI JIN-MIN\ \{\}\ WANG YAN-BIN\ \{\}\ WANG YU-TIAN\ \{\}\ SUN GUO-SHENG\ \{\}\ LIN LAN-YING\ \{\} |
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| Institution: | WANG YIN-SHU\ \{1)\}\ LI JIN-MIN\ \{2)\}\ WANG YAN-BIN\ \{3)\}\ WANG YU-TIAN\ \{2)\}\ SUN GUO-SHENG\ \{2)\}\ LIN LAN-YING\ \{2)\} 1) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ion implantation solid phase epitaxy Si\-\{1-\%x\%\}C\-\%x\% alloy |
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