| 激光技术在薄膜科学中的应用 |
| |
| 引用本文： | 陈兴,张霆,方尚旭,罗乐.激光技术在薄膜科学中的应用[J].现代物理知识,2007,19(5):38-39. |
| |
| 作者姓名： | 陈兴 张霆 方尚旭 罗乐 |
| |
| 作者单位： | 安徽省合肥工业大学理学院 230009 |
| |
| 摘 要： | 膜的一维尺寸大大小于其余两维。一般把厚度小于1μm的膜称为薄膜,反之则称为厚膜。由于薄膜材料具有许多优异性能,因此近年来薄膜科学的发展极为迅速,涌现出许多薄膜制备技术与方法,如真空蒸发沉积、磁控溅射沉积、离子束溅射沉积、金属有机物化学气相沉积和分子束外延等等。虽然这些各具特色的方法在薄膜研究中得到了广泛应用,但是都各具局限性,不能满足薄膜研究和制备的需要,而激光则具有单色性和方向性好、功率密度高等一系列优点。激光沉积薄膜的方法主要分为两类:一类是激光化学反应沉积,如激光化学气相沉积(laser chemical vapor dep…
|
| 关 键 词： | 薄膜科学 激光技术 金属有机物化学气相沉积 应用 离子束溅射沉积 真空蒸发沉积 磁控溅射沉积 分子束外延 |
| 收稿时间： | 1900-01-01; |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《现代物理知识》浏览原始摘要信息 |
| 点击此处可从《现代物理知识》下载免费的PDF全文 |
|
