STM在微细加工中的应用 |
| |
引用本文: | 王大文,白春礼.STM在微细加工中的应用[J].现代物理知识,1992,3(2):10-13. |
| |
作者姓名: | 王大文 白春礼 |
| |
摘 要: | 已提出的各种可能机理有束流引起的化学反应,高电流密度使表面局部区域内原子加热导致的局部原子的蒸发、熔化、再结晶等,有些结构可能是由于污染物或针尖材料在表面上的沉淀而产生的.当样品表面有覆层或处于特定的气体或液体氛围下时,用STM仍可在其上产生各种细微结构,其主要方法可分为两类,其一是电子束光刻,其二是电子束辅助淀积和刻蚀,以下分别进行讨论。
|
关 键 词: | 抗蚀膜 单个原子 淀积物 微细加工 隧道电流 样品间 样品表 聚焦电子束 电子束光刻 底表面 |
收稿时间: | 1991-3-12 |
本文献已被 维普 等数据库收录! |
| 点击此处可从《现代物理知识》浏览原始摘要信息 |
| 点击此处可从《现代物理知识》下载免费的PDF全文 |
|