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物理光学 光的干涉与衍射
摘    要:O436.1 2005031643 用微光学技术制作位相型聚焦光栅=Phase-type focusing grating prepared by micro-optics technique刊,中]/纪宪明 (南通师范学院物理系.江苏,南通(226007)),沐仁旺…∥ 半导体光电.-2004,25(5).-388-390 根据菲涅耳衍射理论,采用微光学制作技术通过3次 套刻,将8位相台阶的菲涅耳波带片和平面光栅组合制作 在同一块基片上,构成同时具有色散分光和聚焦光谱线功 能的位相型光栅。这种光栅具有较高的光谱分辨本领和

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