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| 集成光学 光波导材料与制备 | |
| 摘 要： | TN252 2006043283低损耗有机无机混合溶胶凝胶波导的实验研究=Alowloss planar waveguide by using organic-inorganic sol-gel刊,中]/庞拂飞(中科院上海光机所.上海(201800)) ,韩秀友…∥光子学报.—2006 ,35(4) .—509-512利用有机无机混合的溶胶凝胶方法在硅基底上制备波导薄膜。采用正硅酸四乙酯和苯基三乙氧基硅烷作为反应先驱物,利用旋涂的方法成膜,对其折射率,传输损耗以及条形波导的光刻、刻蚀特性进行了研究。测量了波导薄膜折射率随成分变化的关系。实验表明,该方法工艺简单,可以获得具有较低损耗的波导薄膜。测试得到632 .8nm… |
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