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| 激光应用 激光化学 | |
| 摘 要： | O644．8 2005053422 准分子激光电化学刻蚀镍的特性研究=Experimental study on characteristic of Ni in excimet-laser induced elec- trochemical etching刊,中]／周月豪(华中科技大学机械与 工程学院．湖北,武汉(430074)),柳海鹏…∥光学技术．- 2005,31(3)．-323-325,329 提出一种新的准分子激光电化学加工工艺,在阳极钝 化区内,通过准分子激光照射,以实现无屏蔽的各向异性 的微加工。对该工艺进行了可行性分析,并对其进行了初 步试验,证实在钝化区,准分子激光导致刻蚀电流增加的 幅度比较明显。在此基础上,深入研究了在准分子脉冲激 光作用过程中,刻蚀电流与脉冲数、脉冲频率之间的关系。 表明准分子激光在钝化区具有增强电化学特性的能力。 图4参8(严寒) |
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