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| 薄膜光学 薄膜光学理论与膜系设计 | |
| 摘 要： | O484.1 2005010406 R.F.溅射Ba0．5Se0．5TiO3／RuO2薄膜及其介电特性研究= Dielectric propertics of sputtered Ba0.5 Sr0.5 TiO3 thin film on RuO2 bottom electrode刊,中]／张柏顺(湖北大学物理学与电子技术学院．湖北．武汉(430062)),章天金…∥光电子技术与信息,-2004,17(2).-19-22 用R.F．磁控溅射法在p-Si(100)衬底上沉积Ba0.5 Sr0.5TiO3／RuO2异质结,BST薄膜的晶相和表面形貌用 XRD和SEM分析,表明在衬底温度为550℃时。薄膜的结晶度高、表面粗糙、晶粒较大。电容器InGa／BST／RuO2的 |
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