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激光电子散斑干涉测微小位移
引用本文:
张霖,徐平.激光电子散斑干涉测微小位移[J].物理实验,1998,18(5):24-26.
作者姓名:
张霖
徐平
摘 要:
介绍了利用激光电子散斑干涉测量微小位移的原理和方法,并对其测量范围和测量精度进行了分析,人出了具体的测量结果。
关 键 词:
激光
电子散斑干涉
电荷耦合器件
位移测量
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