| 利用真空变温电阻测试仪研究VO_2薄膜的电阻特性 |
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| 引用本文： | 朱亚彬,王子潇,郑凯.利用真空变温电阻测试仪研究VO_2薄膜的电阻特性[J].物理实验,2012(12):1-4,47. |
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| 作者姓名： | 朱亚彬 王子潇 郑凯 |
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| 作者单位： | 北京交通大学理学院物理实验中心 |
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| 基金项目： | 中央高校基本科研业务费专项基金(No.2009JBM098);北京市自然基金(No.2113050) |
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| 摘 要： | 利用磁控溅射技术在普通玻璃基片上制备了VO2薄膜,晶体结构和表面形貌分析表明制备的样品主要具有VO2相,结晶情况良好.利用自制真空变温薄膜电阻测试仪器测试了VO2薄膜的电阻率随温度变化曲线,观察到钒氧化物的电阻突变和热滞现象.
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| 关 键 词： | 磁控溅射 VO2薄膜 电阻率 温度 |
Research on the temperature dependent resistance of VO2 thin film in vacuum |
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| ZHU Ya-bin,WANG Zi-xiao,ZHENG Kai.Research on the temperature dependent resistance of VO2 thin film in vacuum[J].Physics Experimentation,2012(12):1-4,47. |
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| Authors: | ZHU Ya-bin WANG Zi-xiao ZHENG Kai |
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| Institution: | (School of Science,Beijing Jiaotong University,Beijing 100044,China) |
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| Abstract: | |
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