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| X射线微光刻的常规X线光源实现方法 | |
| 引用本文： | 康士秀.X射线微光刻的常规X线光源实现方法[J].物理实验,2001,21(2):7-10,13. |
| 作者姓名： | 康士秀 |
| 摘 要： | 叙述了利用固体靶X射线光源实验X射线微光刻的方法，给出了X射线腌膜、抗蚀剂及X射线曝光的工艺过程和实验结果。 |
| 关 键 词： | X射线 光源 微光刻 微电子学 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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