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激光电子散斑于涉测微小位移
引用本文:张霖,徐平,王光能.激光电子散斑于涉测微小位移[J].物理实验,1998(5).
作者姓名:张霖  徐平  王光能
作者单位:北京航空航天大学九系!100083
摘    要:介绍了利用激光电子散班干涉测量微小位移的原理和方法,并对其测量范围和测量精度进行了分析,给出了具体的测量结果.

关 键 词:激光电子散斑干涉  电荷耦合器件  位移
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