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| 空心阴极放电沉积氮化碳薄膜的结构和成键性质 | |
| 引用本文： | 杨平,冯贤平,施芸城,闫永辉.空心阴极放电沉积氮化碳薄膜的结构和成键性质[J].物理实验,2005,25(9):13-16. |
| 作者姓名： | 杨平 冯贤平 施芸城 闫永辉 |
| 作者单位： | 1. 东华大学,材料科学与工程学院,上海,200051 2. 波多黎各大学,物理系,圣胡安,00931-3343 3. 东华大学,物理系,上海200051 |
| 基金项目： | 上海市科学技术发展基金项目(No.0252nm110)，教育部科学技术研究重点项目(No.03077)，波多黎各大学启动基金 |
| 摘 要： | 利用空心阴极放电等离子体源在Si(100)衬底上沉积了氮化碳薄膜.用XRD,SEM,XPS及拉曼和红外吸收光谱对薄膜的结构、成分和化学键等进行了研究.XRD分析表明,制备的氮化碳薄膜为非晶结构.XPS分析证实了薄膜中以C—C,sp2CN和sp3CN键为主,并得出薄膜中的氮碳比为0.71,而sp3—CN相的含量也达到了0.39.拉曼和红外吸收光谱的结果也与XPS分析的键态结果一致. |
| 关 键 词： | 氮化碳薄膜 直流空心阴极放电 XPS 拉曼光谱 红外吸收光谱 |
| 文章编号： | 1005-4642（2005）09-0013-04 |
| 收稿时间： | 2004-11-21 |
| 修稿时间： | 2005-01-17 |
Structure and bonding properties of carbon nitride films prepared by DC hollow cathode type discharge method |
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| YANG Ping,FENG Xian-ping,SHI Yun-cheng,YAN Yong-hui.Structure and bonding properties of carbon nitride films prepared by DC hollow cathode type discharge method[J].Physics Experimentation,2005,25(9):13-16. | |
| Authors: | YANG Ping FENG Xian-ping SHI Yun-cheng YAN Yong-hui |
| Abstract: | |
| Keywords: | CN film DC-HCD XPS Raman spectra FTIR |
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