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| 基于平行板电容器的材料表面形貌测量仪 | |
| 引用本文： | 白雪琪,廖琨,唐际杰,张谷令,邹斌.基于平行板电容器的材料表面形貌测量仪[J].物理实验,2019(2). |
| 作者姓名： | 白雪琪 廖琨 唐际杰 张谷令 邹斌 |
| 作者单位： | 中央民族大学理学院 |
| 摘 要： | 利用平行板电容器的原理设计了材料表面形貌测量仪,将探针与电容器下极板固连,当探针在不平整的样品表面扫描时,两极板间距发生改变而引起电容变化.通过LabVIEW编程控制平移台蛇形移动,用平行板电容器厚度测试电路测量pF量级的电容改变值.两极板初始距离为50～200μm的工作范围内,测量误差稳定在2μm.通过实时捕捉探针的坐标和极板间距的变化量,该测量仪可以绘制出三维曲面图. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |