| 自持金刚石厚膜上沉积生长ZnO薄膜及发光特性 |
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| 引用本文： | 孙剑,白亦真,谷建峰,刘明,张庆瑜,姜辛.自持金刚石厚膜上沉积生长ZnO薄膜及发光特性[J].发光学报,2008,29(3). |
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| 作者姓名： | 孙剑 白亦真 谷建峰 刘明 张庆瑜 姜辛 |
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| 作者单位： | 1. 大连理工大学,三束材料改性国家重点实验室,辽宁,大连,116023;大连理工大学,物理与光电工程学院,辽宁,大连,116023
2. 大连理工大学,三束材料改性国家重点实验室,辽宁,大连,116023 |
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| 摘 要： | 采用磁控溅射在自持CVD金刚石厚膜的成核面上制备了ZnO薄膜,并实验研究了其生长特性和发光特性随O2和Ar流量的变化。利用X射线衍射(XRD)、光致发光(PL)光谱、电子探针(EPMA)和霍尔测量对样品进行了检测。结果表明,在O2/Ar比值约为1时沉积得到的ZnO薄膜取向较一致,呈现高阻的状态并且发光性能最好。
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| 关 键 词： | 声表面波滤波器 金刚石 ZnO薄膜 磁控溅射 |
The Growth and Optical Properties of ZnO Films Deposited on Freestanding Thick Diamond Films |
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| SUN Jian,BAI Yi-zhen,GU Jian-feng,LIU Ming,ZHANG Qing-yu,JIANG Xin.The Growth and Optical Properties of ZnO Films Deposited on Freestanding Thick Diamond Films[J].Chinese Journal of Luminescence,2008,29(3). |
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| Authors: | SUN Jian BAI Yi-zhen GU Jian-feng LIU Ming ZHANG Qing-yu JIANG Xin |
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| Keywords: | SAW filter diamond ZnO film sputtering |
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