| 射频磁控溅射ZnO薄膜的结构和光学特性 |
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| 引用本文： | 张源涛,李万程,王金忠,杨晓天,马艳,殷宗友,杜国同.射频磁控溅射ZnO薄膜的结构和光学特性[J].发光学报,2003,24(1):73-75. |
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| 作者姓名： | 张源涛 李万程 王金忠 杨晓天 马艳 殷宗友 杜国同 |
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| 作者单位： | 吉林大学,电子科学与工程学院,集成光电子国家重点实验室,吉林,长春,130023 |
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| 基金项目： | 国家 8 6 3计划资助项目 ( 2 0 01AA311130 ) |
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| 摘 要： | 采用射频（RF）反应磁控溅射法在n-Si(001)衬底上外延生长ZnO薄膜。XRD谱测量显示出较强的（002）衍射峰，表明ZnO薄膜为c轴择优取向生长的。室温PL谱测量观察到了较强的紫外光发射和深能级发射。
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| 关 键 词： | 射频磁控溅射 结构 光学特性 ZnO薄膜 光荧光谱 氧化锌薄膜 外延生长 |
| 文章编号： | 1000-7032(2003)01-0073-03 |
Structural and Optical Properties of ZnO Thin Films Grown by RF Reactive Magnetron Sputtering |
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| ZHANG Yuan-tao,Li Wan-cheng,WANG Jin-zhong,YANG Xiao-tian,MA Yan,YIN Zhong-you,DU Guo-tong.Structural and Optical Properties of ZnO Thin Films Grown by RF Reactive Magnetron Sputtering[J].Chinese Journal of Luminescence,2003,24(1):73-75. |
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| Authors: | ZHANG Yuan-tao Li Wan-cheng WANG Jin-zhong YANG Xiao-tian MA Yan YIN Zhong-you DU Guo-tong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZnO thin film RF magnetron sputtering PL spectra |
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